七星华创质量流量控制器流量计
d07-7质量流量控制器&流量计
d07-7是热式质量流量计，质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（mfm）可以精密测量气体的质量流量 。d07-7产品是七星流量计基础款产品，能满足客户流量测控基本需求。
七星华创质量流量控制器流量计 产品详情
七星华创质量流量控制器流量计
特点
• 橡胶密封、模拟电路的mfc
• 管状分流，使用寿命长d07-7是热式质量流量计，质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（mfm）可以精密测量气体的质量流量 。d07-7产品是七星流量计基础款产品，能满足客户流量测控基本需求。
七星华创质量流量控制器流量计
技术参数
编号
项目
d07-7k 型
d07-7b 型
d07-7c 型
d07-7cm 型
1
流量规格
(20,30,50,100,200,300,500) sccm
( 0~1,2,3,5,10) slm
(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) sccm
( 0~1,2,3,5,10) slm
( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) sccm
( 0~1,2,3,5,10) slm
( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)
sccm
( 0~1,2,3,5,10) slm
2
准确度
±1%f.s
±1.5%f.s
±1.5%f.s
±1.5%f.s
3
线性
±1%f.s
±1 %f.s
±1 %f.s
±1 %f.s
4
重复精度
±0.2%f.s
±0.2%f.s
±0.2%f.s
±0.2%f.s
5
响应时间
电特性: 10 sec;
气特性: ≤ 4 sec
电特性: 10 sec;
气特性: ≤ 4 sec
电特性: 10 sec;
气特性: ≤ 4 sec
10 sec
6
气压降
ˉ
ˉ
ˉ
<0.01 mpa
7
工作压差范围
(0.1 ~ 0.5)mpa
(0.1 ~ 0.5)mpa
(0.1 ~ 0.5)mpa
<0.01 mpa
8
温度系数
zero:≤±0.1%f.s./℃;
span:≤±0.2%f.s./℃;
ˉ
ˉ
ˉ
9
最大工作压力
1mpa
1mpa
1mpa
1 mpa
10
耐压
3 mpa
3 mpa
3 mpa
3 mpa
11
工作环境温度
5 ℃ ~ 45 ℃
5 ℃ ~ 45 ℃
5 ℃ ~ 45 ℃
5 ℃ ~ 45 ℃
12
输入输出信号
0 v ~ +5.00 v(输入阻抗大于100k, 输出电流不大于3ma)
0 v ~ +5.00 v(输入阻抗大于100k, 输出电流不大于3ma)
0 v ~ +5.00 v(输入阻抗大于100k, 输出电流不大于3ma)
0 v ~ +5.00 v(输入阻抗大于100k, 输出电流不大于3ma)
13
电源
+15 v 50ma;
-15v200ma
+15 v 50ma;
-15v200ma
+15 v 50ma;
-15v200ma
+15 v 50 ma
-15 v 50 ma
14
外形尺寸
见图4
见图4
见图4
见图5
15
重量
1.1 kg
1.1 kg
1.1 kg
0.92 kg
d07-7是热式质量流量计，质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（mfm）可以精密测量气体的质量流量 。d07-7产品是七星流量计基础款产品，能满足客户流量测控基本需求。d07-7是热式质量流量计，质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（mfm）可以精密测量气体的质量流量 。d07-7产品是七星流量计基础款产品，能满足客户流量测控基本需求。