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干涉扫描中的中空式三维压电偏转镜

2024/5/31 19:38:49发布60次查看
s23.zt1k系列压电偏转镜为θx、θy偏转/俯仰及z轴升降台,台体中心通孔,产品体积小巧、结构紧凑,可以实现的偏转范围为1.5mrad, z轴直线运动行程为10μm,产品为开环版本,具有非常高的分辨率及响应速度,是干涉扫描移相的理想选择。
特点
• θx、θy 偏转,z 轴升降
• 中心通孔:ø10mm
• z向行程10μm
• 偏转角度可达1.5mrad/轴
• 温度稳定性高
应用
• 图像处理与稳定
• 激光扫描/光束偏转
• 主动及自适应光学
• 光学滤波器
• 光束稳定
中心通孔高动态性
ss23.zt1k压电偏转镜为多轴俯仰升降台,产品体积为ø20×19.5mm, 可以实现θx、θy轴1.5mrad的偏转,z轴10μm的升降。具有非常高的分辨率及亚毫秒的响应速度,三角架结构设计具有很宽的使用温度范围。台体中心带有通孔,孔径为ø10mm,适用于透光应用,如光过滤等。
可配套镜片转接座
ss23.zt1k可选择配套镜片转接座,用于镜片的安装与固定。
技术参数
型号:s23.zt1k
运动自由度:θx、θy、z
θx、θy偏转角度(0~120v):1.2mrad(≈240”)
z向直线行程(0~120v):8μm
θx、θy 偏转角度(0~150v):1.5mrad(≈300”)
z向直线行程(0~150v):10μm
θx、θy偏转分辨率:0.02μrad(<0.01”)
z 向位移分辨率:0.1nm
空载谐振频率:θx6.9/θy6.9/z16.5khz
空载阶跃时间:0.5ms
静电容量:0.5μf/轴
材质:钢
重量:80g
推荐控制器
ss23.zt1k压电偏转镜为θx、θy偏转及z轴升降开环运动机构,可配套芯明天三通道e70.c3k开环压电控制器,实现精密运动控制。
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